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詳細介紹潔淨室靜電的危害
雙擊自動滾屏 發布者:admin 發布時間:2013-09-22 10:15:37 閱讀:744次 【字體:

簡單說明在靜電庫侖力的作用下,吸附的粉塵、汙物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受損,成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm,鋁線寬度約100μm,氧化膜厚度在50μm時,最易使產品報廢。現在線徑更細,氧化膜很薄,粒徑很小的塵粒子就會損害元器件,這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。詳細說明1、靜電庫侖力
      在靜電庫侖力的作用下,吸附的粉塵、汙物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受損,成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm,鋁線寬度約100μm,氧化膜厚度在50μm時,最易使產品報廢。現在線徑更細,氧化膜很薄,粒徑很小的塵粒子就會損害元器件,這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。2、靜電放電ESD
      (1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿,引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷,觸摸器件腳時發生ESD,其向大地瞬間形成脈衝放電電流峰值可達20A(10~100s),不要說高密度,細線徑,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,就是一般IC、MOS都會遭受損壞。
      一般說器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強是E=(5-10)×106V/cm,如果器件SiO2膜厚度取1000,其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿,而人體帶靜電超過50V、100V是極平常的。
      (2)造成噪聲、發射電磁波幹擾
      ESD引起EMI其電磁波的前後峰較尖,信號強,相當於電路中幾伏的能量,頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強大噪聲,可能引起元器件損壞,設備和傳感器不正常工作,甚至引起設備死機。
      ESD引起的EMI還會引發錯誤信號的輸入,或發生鎖存現象。如無塵室中,將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上,晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車,車輪是絕緣的,則EMI的擴散會引起晶圓片處理機死機。
      (3)電擊人體
     人體的ESD或對人體的ESD當超過人體電擊極限電流5mA以上時,人都會有各種傷害感覺,造成工作人員的情緒不安,操作錯誤。
      半導體,平麵顯示器,光電子等潔淨室,盡管做了很多工作,但潔淨室的靜電問題仍然影響著生產安全和產品產量,影響著製造成本和效益,影響產品的質量和可靠性。據國外工業專家估計,美國每年由於靜電造成產品的損失平均在8-33%,還有人估計美國每年靜電對電子工業毀損價值達100億美元;日本80年代曾對報廢的電子產品進行分析,由ESD引起的損失占1/3。我國半導體、平麵液晶顯示、光電子等都起步較晚,但靜電危害也時有發生,成品率較低。而銀行、證券公司、機要數據庫、監控中心,電力調度室等等,若出現ESD就很容易引起幹擾,數據遺失,情形就更嚴重了。